精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
回折光を利用した鏡面加工表面粗さのインプロセス計測
森田 健二, 川久保 洋一
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1988 年 54 巻 4 号 p. 642-646

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