SEM機能を有する高性能走査トンネル顕微鏡 (STM) の開発

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

SEM機能を有する高性能走査トンネル顕微鏡 (STM) の開発

保坂純男

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ジャーナルフリー

1992 年 58 巻 9 号 p. 1490-1495

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.58.1490

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