精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
原子間力顕微鏡の走査機能を利用したマイクロ切削過程の連続観察
傅 恵南真鍋 圭司上田 完次
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1997 年 63 巻 12 号 p. 1752-1753

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