精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
マイクロ研削加工
大森 整, 山形 豊, 守安 精, 上原 嘉宏, 片平 和俊, 林 偉民
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2002 年 68 巻 2 号 p. 171-174

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