結晶格子スケールの現状と課題

明田川 正人; 高田 孝次

doi:10.2493/jjspe.68.372

結晶格子スケールの現状と課題

明田川正人, 高田孝次

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ジャーナルフリー

2002 年 68 巻 3 号 p. 372-375

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.68.372

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発行日: 2002/03/05 受付日: 2001/12/28 J-STAGE公開日: 2009/04/10 受理日: - 早期公開日: - 改訂日: -
訂正情報
訂正日: 2009/04/10 訂正理由: - 訂正箇所: 引用文献情報訂正内容: 訂正前 : 1) 例えば谷口紀男:ナノテクノロジーの構築とその理念,精密工学会誌,56,3(1990)427.
2) 例えばChien-Ming Wu and R.D.Deslattes:Analytical modeling of the periodic nonlinearity in heterodyne interferometer,Appl.Opt.,37,28,(1998)6696.
3) 解説記事として例えば,中山貫:単結晶シリコンの原子間隔を測る,パリティ,13,11(1998)28.
10) 明田川正人ほか:結晶格子を基準とする微小長さ測定(第1報)?2次元FFTによるSTM画像のゆがみ成分の抽出とその補正?,精密工学会誌63,1(1997)108.
13) 明田川正人ほか:結晶格子を基準とする微小長さ測定(第3報)?熱ドリフト誤差の抑制と測定範囲の数μmレベルへの拡大?,精密工学会誌,65,1(1999)126.
17) 明田川正人ほか:結晶格子を基準とする微小長さ測定(第2層報)?逆格子ベクトルを用いた自動格子計数法?,精密工学会誌,63,8(1997)1091.
18) 星泰雄ほか:結晶格子リニアエンコーダの結晶方位の検討,応用物理学会学術講演会講演予稿集(秋季)(2000)572.
19) 土井理ほか:原子間力顕微法により得られる位置決め信号,精密工学会秋季大会学術講演会論文集(2001)550.
23) 佐久田茂,カマル・ヨセフ=トーミ:STMを用いた超精密角度センサ(第1報)?誤差解析とピッチング測定?,精密工学会誌62,3(1996)403.
24) 橋田敏季ほか:結晶格子表面の格子定数測定装置の試作,精密工学会春季大会学術講演会論文集(2000)589.
28) 明田川正人ほか:結晶格子スケールとレーザ干渉計を複合した絶対測長器の開発(第1報:基本原理と装置構想),精密工学会秋季大会学術講演会論文集(2000)83.

訂正後 : 1) 例えば谷口紀男:ナノテクノロジーの構築とその理念,精密工学会誌,56,3(1990)427.
2) 例えばChien-Ming Wu and R.D.Deslattes:Analytical modeling of the periodic nonlinearity in heterodyne interferometer,Appl.Opt.,37,28,(1998)6696.
3) 解説記事として例えば,中山貫:単結晶シリコンの原子間隔を測る,パリティ,13,11(1998)28.
10) 明田川正人ほか:結晶格子を基準とする微小長さ測定(第1報)?2次元FFTによるSTM画像のゆがみ成分の抽出とその補正?,精密工学会誌63,1(1997)108.
13) 明田川正人ほか:結晶格子を基準とする微小長さ測定(第3報)?熱ドリフト誤差の抑制と測定範囲の数μmレベルへの拡大?,精密工学会誌,65,1(1999)126.
17) 明田川正人ほか:結晶格子を基準とする微小長さ測定(第2層報)?逆格子ベクトルを用いた自動格子計数法?,精密工学会誌,63,8(1997)1091.
18) 星泰雄ほか:結晶格子リニアエンコーダの結晶方位の検討,応用物理学会学術講演会講演予稿集(秋季)(2000)572.
19) 土井理ほか:原子間力顕微法により得られる位置決め信号,精密工学会秋季大会学術講演会論文集(2001)550.
23) 佐久田茂,カマル・ヨセフ=トーミ:STMを用いた超精密角度センサ(第1報)?誤差解析とピッチング測定?,精密工学会誌62,3(1996)403.
24) 橋田敏季ほか:結晶格子表面の格子定数測定装置の試作,精密工学会春季大会学術講演会論文集(2000)589.
28) 明田川正人ほか:結晶格子スケールとレーザ干渉計を複合した絶対測長器の開発(第1報:基本原理と装置構想),精密工学会秋季大会学術講演会論文集(2000)83.

責任著者(Corresponding author)

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