精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
リニアモータ駆動の超精密5軸ナノ加工機
河合 知彦, 蛯原 建三, 山本 明
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2006 年 72 巻 4 号 p. 435-439

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