日本応用磁気学会誌
Online ISSN : 1880-4004
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ISSN-L : 0285-0192
論文
10-13T台の磁界検出分解能を有する高周波伝送線路型薄膜磁界センサ
村山 芳隆小澤 哲也薮上 信石山 和志荒井 賢一
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ジャーナル オープンアクセス

2007 年 31 巻 1 号 p. 17-22

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抄録
We developed a very sensitive high-frequency carrier-type magnetic field sensor with a sub-pT resolution using a resonating transmission line. Meander-type sensor elements using amorphous CoNbZr films were fabricated. We obtained a magnetic field resolution of 7.4 x 10-13 T/Hz1/2 at 501 kHz. The detectable magnetic field was limited bythe noise caused by nonlinear magnetic excitation. We analyzed the quality factor of the resonance for enhancementof the signal-to-noise ratio.
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© 2007 (社)日本応用磁気学会
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