24aXE-13 小型ターゲットを用いたスパッタ装置によるZn-Mg-Sc薄膜の試作(24aXE 準結晶(構造),領域6(金属,超低温,超伝導・密度波分野))

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 24aXE-13

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.57.1.4.0_721_4

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24aXE-13 小型ターゲットを用いたスパッタ装置によるZn-Mg-Sc薄膜の試作(24aXE 準結晶(構造),領域6(金属,超低温,超伝導・密度波分野))

千嶋誠, 山田秀俊, 毛利典浩, 本村扇仁, 中野裕司, 石政勉, 松尾進

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