28aXD-7 PZT薄膜キャパシタの熱-電気伝導特性の評価(28aXD 誘電体,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 28aXD-7

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.61.1.4.0_932_4

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28aXD-7 PZT薄膜キャパシタの熱-電気伝導特性の評価(28aXD 誘電体,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))

西田貴司, 中山能成, 武田貴志, 内山潔, 塩嵜忠

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