高精度自由曲面形状測定装置の開発（第4報）

複数光学面の相対位置測定方法

抄録

デジタルカメラやHMD(Head Mounted Display)などに用いられる自由曲面光学素子の形状測定装置を開発している．光学素子は一般に複数面あり，その間の相対位置が光学性能に大きく影響する．例えばレンズの偏心誤差である．本報告では4つの位置マーク球を配置した治具を用い，相対位置を測定する方法を提案する．また，レンズ2面を同時に測定するARuler2と呼ぶ形状測定装置で相対位置が高精度に測定できることを示す．