グラフェン化学気相成長過程の微視的解析 I.成長機構

斉木 幸一朗; 平良 隆信; 小幡 誠司

doi:10.11316/jpsgaiyo.72.1.0_2573

セッションID: 19pD41-8

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.72.1.0_2573

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主催: 一般社団法人日本物理学会

会議名: 2017年度日本物理学会第72回年次大会

開催日: 2017/03/17 - 2017/03/20

グラフェン化学気相成長過程の微視的解析 I.成長機構

斉木幸一朗, 平良隆信, 小幡誠司

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キーワード: 結晶成長, その他, その場観察

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抄録

高温（1000℃），可燃性ガス(H2, CH4)下でのグラフェン成長を，空間，時間分解能１µm，1sで観察できる熱放射顕微鏡を開発した[1,2]．この手法を用い，グラフェンドメイン面積の時間変化から成長速度の温度依存性，メタン供給量依存性を抽出した．この結果をもとに成長機構の律速過程を議論する．[1] Terasawa and Saiki：Nature Communications 6, 6834 (2015), [2] 斉木，寺澤：応用物理85，485(2016)

責任著者(Corresponding author)

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