超高圧電子顕微鏡によるGaN厚膜試料における観察可能試料厚さの定量評価

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 23aK506-9

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.73.1.0_2521

会議情報

主催: 一般社団法人日本物理学会

会議名: 2018年度日本物理学会第73回年次大会

開催日: 2018/03/22 - 2018/03/25

超高圧電子顕微鏡によるGaN厚膜試料における観察可能試料厚さの定量評価

佐藤和久, 山下悠輝, 保田英洋, 森博太郎

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キーワード: 格子欠陥・ナノ構造, 転位・面欠陥, 電子線

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