シリコン酸化膜におけるシリコンナノ結晶の成長メカニズムの解明に向けた反応性力場分子動力学法による数値シミュレーション

「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム（日本太陽光発電学会学術講演会）予稿集

Online ISSN : 2436-6498

第21回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム（第4回日本太陽光発電学会学術講演会）（2024年）

セッションID: 8-2

DOI https://doi.org/10.57295/jpvsproc.4.0_34

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主催: 日本太陽光発電学会

シリコン酸化膜におけるシリコンナノ結晶の成長メカニズムの解明に向けた反応性力場分子動力学法による数値シミュレーション

田村玄汰, 上根直也, 後藤和泰, 宇佐美徳隆, 徳増崇

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