抄録
最新のオージェ分析装置（AES: Auger Electron Spectrometer）は，電子銃として熱電界放射型フィールドエミッション(TFE)銃を装備したFEオージェ分析装置（FE-AES）が実用化され，数10nmの微小領域が容易に分析できるようになってきた．従来からのAESの特徴である表面層に敏感なこと，深さ方向分析が可能なことに加えて，数10nmの微小領域の分析，さらに, 高エネルギー分解能のエネルギーアナライザを用いることにより，オージェスペクトルによる化学結合状態の情報が得られるようになってきた．ここでは，最新の情報としてFE-オージェによる化学状態分析の分析例について報告する．
https://ror.org/02zme4e72 
