Journal of Surface Analysis
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連載(講義)
SIにつながる真の電子スペクトルを求める実験法(VI)
後藤 敬典
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2007 年 14 巻 1 号 p. 59-68

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抄録

 今回は一次電子の加速とエネルギー掃引に必要な高電圧の電源と分割器,さらにこれらを校正する方法について述べる.AESのエネルギーが10 ppmの不確かさで計測できるようになった.この精度は抵抗器の温度係数と電力係数を合わせこむことにより実現できた.高電圧の発生と計測で必要となる約100 Vの標準電圧をツェナーダイオードで実現できた.古い機器のPCプログラム化を提案した.

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© 2007 一般社団法人 表面分析研究会
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