クラスター二次イオン質量分析法の展望

―帯電液滴衝撃/二次イオン質量分析計の進展―

抄録

　最近の飛行時間型二次イオン質量分析法（Time of flight secondary ion mass spectrometry, TOF-SIMS）は，一次イオンとしてSF₅⁺，Au₃⁺，C₆₀⁺といったクラスターイオン源を装着したTOF-SIMSが実用化されてきている．クラスターイオンは高質量二次イオンの高収率化や非破壊的に材料表面をスパッタリングするなどの利点を有している．しかし生体材料などライフサイエンス材料分析ではさらなる二次イオンの高収率化が要求されてきている．これら材料分析のため，最近よりサイズの大きなクラスターイオンの研究が盛んに行われている．ここでは，最新の巨大クラスターイオン（帯電液滴）を用いたSIMSの現状を報告する．