アルバック・ファイ（株）
2008 年 14 巻 3 号 p. 204-213
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有機材料または生体の表面分析にクラスターイオンの利用が増加している．クラスターイオンの生成技術，特徴的なスパッタリング過程，その表面分析への応用について，現状の報告をおこなう．
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