Journal of Surface Analysis
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技術報告
高エネルギー分解能アナライザ・モノクロメータとしてのウィーンフィルタ
津野 勝重
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2013 年 19 巻 3 号 p. 159-169

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抄録
電場と磁場を重畳してビームを直進させるウィーンフィルタをその発明時から今日まで概観し,分析装置としてなぜ主流の位置を占めることが出来なかったかを考察する.また現代ではその欠点の大部分が克服され,最も優れた分析装置として使えることを示す.さらに実用的な観点から,3種類の多極子ウィーンフィルタについてそれぞれの特徴を示す.最後にエネルギー分解能向上のテクニックとしてのバトラー電極を用いたリターディング法についてシミュレーションによって検証する.
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© 2013 一般社団法人 表面分析研究会
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