技術報告
TOF-SIMSによる有機材料のAr-GCIB切削断面観察
2015 年 21 巻 3 号 p. 112-120
詳細
2015 年 21 巻 3 号 p. 112-120
C60イオン銃やArガスクラスターイオン銃の利用により，TOF-SIMS（Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry）による有機材料の深さ方向分析の応用が急速に広がっている．本稿では，化学種の正確な深さ分布情報を得ることを目的として開発した，TOF-SIMSによるAr-GCIBによる切削断面観察法を紹介し，その有用性について検討した結果を報告する．本観察法は，分子構造を維持したままの断面観察が可能であり，3次元スパッタデプスプロファイルでは得られない正確なスケールの分子種の分布情報が得られることから，複雑な有機材料の構造解析に有効であることを示した．
