初心者のための TOF-SIMS 分析の勘どころ

抄録

飛行時間型質量分析装置を用いた二次イオン質量分 析 法 ， 飛 行 時 間 型 二 次 イ オ ン 質 量 分 析 法（TOF-SIMS）は各種材料の表面に存在する化学種の化学組成を知ることのできる手法である．特にスタティック条件下での測定を行うことにより，無機元素のみならず，有機物の化学構造に関する詳細な情報を得ることができることが特徴となっている．また，無機，有機物の二次元分布，更にはスパッタリングを併用し，深さ方向の組成分布を知ることができるため，幅広い分野での応用がなされている．ここでは TOF-SIMS 装置の簡単な原理，測定，スペクトルを解析する際の基本的な留意点，実際の応用例について述べる.