Al Kα線とCr Kα線の情報深さの違いを利用した XPS・HAXPES分析事例の紹介

抄録

X線光電子分光法（XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy）において，一般に用いられるAl Kα線（エネルギー 1486.6 eV）で検出できる光電子の情報深さは5～10 nm程度である．一方，より高エネルギーのX線を使用した硬X線光電子分光法（HAXPES: Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy）では，Cr Kα線（5414.8 eV）を利用することで，情報深さをAl Kα線の約3倍まで拡張することが可能である．Cr Kα線のより深い情報深さを利用することで，スパッタリングによるダメージを回避することができ，さらに，HAXPESと角度分解測定の組み合わせにより，より深部の濃度分布情報を取得することができる．本稿では，これらの測定の実試料による応用事例を紹介する．