ロール式ウエハ成形機の研究 (第2報)

電気サーボ機構による成形ウエハの密度制御

抄録

円筒ロール交さ軸型のロール式ウエハ成形機のウエハ密度を制御するために, ロール式ウエハ成形機におけるウエハの吐出速度はロールの交さ角度にほぼ比例することを利用し, 圧縮室内のウエハの密度をロール支持ばねで検出してロールの交さ角度を変える電気サーボ機構によるブイードバック制御系を試作した。材料供給を連続あるいは断続した場合, 供給速度, 供給幅等を変えて実験し, 制御系の応答特性を明らかにした。また制御による成形ウエハの密度の均一性は, 試作した切断装置により連続的にほぼ6cmごとに切断したウエハの密度の平均値と標準偏差を求めて評価した。その結果は制御系はよく作動し, 成形ウエハの密度は均一になったが, 供給幅が狭く, 供給速度が速い場合は変動がやや大きかった。