TPD/Alq<sub>3</sub>構造有機ELへのECRプラズマ処理によるO<sup>*</sup>供給に関する検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 20a-ZK-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_2564

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

TPD/Alq₃構造有機ELへのECRプラズマ処理によるO^*供給に関する検討

*前田祐, 向井直礼, 岩崎好孝, 上野智雄

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キーワード: 20a-ZK-5, 有機分子・バイオエレクトロニクス, 有機EL, Alq3, O^*, TPD

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