MBE-GaAs選択成長機構における酸化膜マスク界面エネルギー依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16p-ZV-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_3144

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

MBE-GaAs選択成長機構における酸化膜マスク界面エネルギー依存性

*林将大, 廣川優樹, 後藤大輝, 牛尾昌史, 松田一宏, 金子忠昭

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キーワード: 16p-ZV-13, 結晶工学, III-V族エピタキシャル結晶, GaAs, マスク, 酸化膜

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