ジエチル亜鉛（DEZ）を原料に用いたスプレー法によるZnO薄膜の大気作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-ZJ-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_3791

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

ジエチル亜鉛（DEZ）を原料に用いたスプレー法によるZnO薄膜の大気作製

*竹元裕仁, 小嶋稔, 吉野賢二, 豊田浩司, 稲葉孝一郎, 羽賀健一, 徳留功一

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キーワード: 17a-ZJ-9, 合同セッション, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, スプレー, 酸化亜鉛, 透明導電膜

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