ジエチルジンクと水を原料とするMOCVD法で作製したZnO薄膜の成長時間依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-ZJ-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_3790

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

ジエチルジンクと水を原料とするMOCVD法で作製したZnO薄膜の成長時間依存性

*山中貴裕, 束村将, 中田裕華里, 寺迫智昭, 宮田晃, 矢木正和, 白方祥

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キーワード: 17a-ZJ-8, 合同セッション, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, MOZVD, 酸化亜鉛

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