SiO<sub>2</sub>結晶中の不純物原子の拡散機構に関する第一原理解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 26a-P7-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_3814

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

SiO₂結晶中の不純物原子の拡散機構に関する第一原理解析

*難波貴正, 末岡浩治, 小町潤, 嵯峨幸一郎

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キーワード: 26a-P7-7, 結晶工学, 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥, SiO2, 第一原理

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