SiOx成分含有有機光硬化樹脂を用いたUVナノインプリントレプリカモールドの作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 30a-ZN-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_1141

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

SiOx成分含有有機光硬化樹脂を用いたUVナノインプリントレプリカモールドの作製

*大本慎也, 岡田真, 姜有志, 春山雄一, 梅川秀喜, 松井真二

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キーワード: 30a-ZN-5, ビーム応用, ナノインプリント, SiOx成分含有有機光硬化樹脂, UVナノインプリントレプリカモールド

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