CuAlO<sub>2</sub>及びGa<sub>2</sub>O<sub>3</sub>ドープした酸化亜鉛系透明導電膜

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 2p-N-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_3468

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

CuAlO₂及びGa₂O₃ドープした酸化亜鉛系透明導電膜

*中崇人, 大橋俊介, 青木孝憲, 鈴木晶雄

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キーワード: 2p-N-3, 合同セッション, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 透明導電膜

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