結晶性IGZOトランジスタのyAオーダーの極小オフ電流測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 16a-F2-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1485

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

結晶性IGZOトランジスタのyAオーダーの極小オフ電流測定

*古谷一馬, 戸松浩之, 塩野入豊, 加藤清, 小山潤, 山崎舜平

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キーワード: 16a-F2-13, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 酸化物半導体

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