薄膜金属材料のハイスループット疲労試験

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 15p-GP3-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_4137

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

薄膜金属材料のハイスループット疲労試験

佐藤康平, ナスタランタムジニ, 桜井順平, 中光豊, *秦誠一

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キーワード: 15p-GP3-11, 合同セッション, 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, マイクロ, 薄膜, 疲労試験

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