パルスレーザ堆積法によるLiTi<sub>2</sub>O<sub>4</sub> 薄膜のエピタキシャル成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-C13-17

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1351

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

パルスレーザ堆積法によるLiTi₂O₄ 薄膜のエピタキシャル成長

*横山耕祐, 丹羽三冬, 大島孝仁, 大友明

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キーワード: 13p-C13-17, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, パルスレーザ堆積法

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