応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
The 60th JSAP Spring Meeting 2013
セッションID: 30p-G6-2
会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

Formation of Highly Pure Nickel Films by Hot-wire-assisted ALD
*Guangjie Yuan, Hideharu Shimizu, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki
著者情報
キーワード: 30p-G6-2, deposition, Hot Wire, Ni
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© 2013 The Japan Society of Applied Physics
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