ClF3 プラズマレスドライエッチングを用いた単結晶Si 太陽電池のテクスチャ処理の最適化(Ⅰ)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 29p-PA9-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3438

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

ClF3 プラズマレスドライエッチングを用いた単結晶Si 太陽電池のテクスチャ処理の最適化(Ⅰ)

宮坂吉徳, 大島学, *渡邊良祐, 齋藤洋司

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キーワード: 29p-PA9-5, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, テクスチャリング, ドライエッチング, 太陽電池

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