応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
The 60th JSAP Spring Meeting 2013
セッションID: 29p-PA9-11
会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

Detailed Study on the c-Si Surface Passivation Mechanism of O3-Based Batch Atomic Layer Deposited AlOx for Solar Cell Applications
*Hyunju Lee, 立花 福久, 池野 成裕, 橋口 裕樹, 土屋 佑樹, 新船 幸二, 吉田 晴彦, 佐藤 真一, 知京 豊裕, 小椋 厚志
著者情報
キーワード: 29p-PA9-11, Aluminum oxide surface passivation, Atomic layer deposition, Silicon solar cell
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© 2013 The Japan Society of Applied Physics
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