応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第74回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 19a-C8-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

FinFETの電流立ち上がり電圧ばらつきの解析：金属ゲート仕事関数ばらつきの影響
*松川 貴, 柳 永勛, 塚田 順一, 遠藤 和彦, 山内 洋美, 石川 由紀, 大内 真一, 水林 亘, 太田 裕之, 右田 真司, 森田 行則, 昌原 明植
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キーワード: 19a-C8-6, 半導体A（シリコン）, Siデバイス／集積化技術, 非晶質金属, FinFET, 特性ばらつき
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