低真空下における揮発性試料の二次イオン質量分析に関する検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-F4-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_1539

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

低真空下における揮発性試料の二次イオン質量分析に関する検討

*草刈将一, 藤井麻樹子, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎

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キーワード: 17a-F4-10, ビーム応用, イオンビーム一般, 二次イオン質量分析, 低真空

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