2インチ(-201)β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>基板の作製と評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-E10-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_216

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

2インチ(-201)β-Ga₂O₃基板の作製と評価

*増井建和, 輿公祥, 飯塚和幸, 渡辺信也, 滝沢勝, 山岡優, 土井岡慶, 梅村沙織, 脇本大樹, 倉又朗人, 山腰茂伸

著者情報

キーワード: 19p-E10-10, 分科企画シンポジウム, ワイドバンドギャップ酸化物半導体による新しい機能の創成, 酸化ガリウム

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2014 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top