金属ナノ粒子の電気泳動によるTSVへの高速埋め込みの基礎検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18p-E14-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_2747

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

金属ナノ粒子の電気泳動によるTSVへの高速埋め込みの基礎検討

*多喜川良, 仲原清顕, 首藤高徳, 池田晃裕, 浅野種正

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キーワード: 18p-E14-2, 半導体A（シリコン）, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, TSV

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