非化学量論組成SrTiO<sub>3</sub>薄膜における欠陥構造の製膜条件依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-A10-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1197

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

非化学量論組成SrTiO₃薄膜における欠陥構造の製膜条件依存性

*小林俊介, 加藤丈晴, 平山司, 幾原雄一, 山本剛久

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キーワード: 17a-A10-8, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, SrTiO3, 薄膜, 走査型透過電子顕微鏡

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