熱ナノインプリント法によるガラス基板表面のシングルナノパターニングと薄膜成長制御

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20a-A13-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1453

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

熱ナノインプリント法によるガラス基板表面のシングルナノパターニングと薄膜成長制御

*野沢靖久, 譚ゴオン, 船迫友之, 金子智, 松田晃史, 吉本護

著者情報

キーワード: 20a-A13-4, ビーム応用, ナノインプリント, 熱ナノインプリント, ナノパターニング, グラフォエピタキシー

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2014 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top