4H-SiCにおける遷移金属の拡散メカニズムの提案

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-A17-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_3320

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

4H-SiCにおける遷移金属の拡散メカニズムの提案

*旦野克典, 関章憲, 齋藤信, 白井嵩幸, 鈴木寛, 坂元秀光, 佐藤和明, 別所毅, 木本恒暢

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キーワード: 17a-A17-6, 結晶工学, IV族系化合物, SiC, 拡散, 遷移金属

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