非平衡プラズマジェットCVDを用いた微結晶シリコン膜(μc-Si)の高速成膜

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-PB4-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_3451

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

非平衡プラズマジェットCVDを用いた微結晶シリコン膜(μc-Si)の高速成膜

*千藤彰大, 西田哲, 牟田浩司, 栗林志頭眞

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キーワード: 17a-PB4-10, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, 微結晶シリコン, 高速成膜, プラズマ

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