導電性AFMによるヘテロ接合部のリーク電流測定時の雰囲気温度および圧力による影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-PB4-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_3454

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

導電性AFMによるヘテロ接合部のリーク電流測定時の雰囲気温度および圧力による影響

*武藤芳樹, 西田哲, 吉田憲充, 栗林志頭眞, 野々村修一

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キーワード: 17a-PB4-13, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, ヘテロ接合, 結晶シリコン, AFM

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