種々のパラフィン系材料を用いた蒸着膜の作製と評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13a-P13-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_2205

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

種々のパラフィン系材料を用いた蒸着膜の作製と評価

*佐藤慶太, 田中邦明, 臼井博明

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キーワード: 13a-P13-3, 有機分子・バイオエレクトロニクス, 作製・構造制御, ドライプロセス（真空蒸着，CVD）, パラフィン, 蒸着, 薄膜

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