応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第62回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 12a-A21-13
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

δドープGaNキャップ/AlGaN/GaN構造のオーミックコンタクト抵抗
*加藤 直樹, 安藤 彰浩, 分島 彰男, 江川 孝志, 長田 大和, 上村 隆一郎
著者情報
キーワード: 12a-A21-13, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体電子デバイス・回路, 窒化ガリウム, 高電子移動度トランジスタ
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