減衰全反射型遠紫外分光装置による金属酸化物半導体粉末の測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12a-A28-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3531

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

減衰全反射型遠紫外分光装置による金属酸化物半導体粉末の測定

*田邉一郎, 尾崎幸洋

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キーワード: 12a-A28-4, 非晶質・微結晶, 基礎物性・評価, 酸化物系材料, 金属酸化物, 遠紫外分光

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