非晶質InGaZnO<sub>4</sub>とInSnZnO<sub>4</sub>のバンド吸収端酸素化及び水素化特性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12a-A28-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3532

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

非晶質InGaZnO₄とInSnZnO₄のバンド吸収端酸素化及び水素化特性評価

*張帥澤, 大野祐樹, 清水耕作

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キーワード: 12a-A28-5, 非晶質・微結晶, 基礎物性・評価, 酸化物系材料, ITZO, IGZO, 吸収端

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