MnドーピングがZnOホモエピタキシャル薄膜成長過程に与える影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13a-P18-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3836

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

MnドーピングがZnOホモエピタキシャル薄膜成長過程に与える影響

*岩崎裕徳, 野瀬幸則, 吉村武, 芦田淳, 藤村紀文

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キーワード: 13a-P18-2, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 薄膜成長, 酸化亜鉛

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