ヘテロ接合を用いたDLTS法によるIGZO薄膜のトラップ準位の評価（２）

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13a-P18-17

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3851

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

ヘテロ接合を用いたDLTS法によるIGZO薄膜のトラップ準位の評価（２）

*小坂修司, 横田嘉宏, 岡田廣

著者情報

キーワード: 13a-P18-17, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 物性評価, DLTS, IGZO

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2015 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top